摂南大学 理工学部 電気電子工学科

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SEC Video Library, SST_LAB 2008年度 修士学位論文
「スパッタ深さ方向分析の高分解能化に関する研究」

講演者:井上 公介 (2009.2.25,10号館プチテアトル)
摂南大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻 表面物性工学研究室 (14分21秒) 論文要旨

表面分析と標準化の国際ワークショップ iSAS-09(2009.3.15-18,宜野湾市,沖縄コンベンションセンター)にてポスター発表
「Oxygen Enhanced Surface Roughening of Si(111) Induced by Low-energy Xe+ Ion Sputtering」
第4回 実用表面分析国際会議 PSA-07(2007,11,25-28,金沢市, 石川県立音楽堂)にてポスター発表
「Oxygen Effects on the Secondary Electron Emission from Si Surface Induced by Low Energy He+ and Xe+ Ions」(1分間ショートプレゼンの様子


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