摂南大学　理工学部
電気電子工学科

光波制御デバイス研究室（山田研究室）

[キーワード]

半導体プロセス技術
微細周期構造
光デバイス

[担当者]

山田　逸成
理工学部電気電子工学科（准教授）

研究の内容

　機器の高機能化に伴い、様々なデバイス製作における省エネ化・省プロセス化技術、低コスト化が強く望まれています。当研究室では、光デバイスの高機能化に必要な微細構造の形成を高価なドライエッチング装置等を使用することなく、容易に形成する技術（干渉露光法、ナノインプリント法、ゾル-ゲル法、電気化学処理等）を確立し、その技術を活用して図1に示す偏光子や、カラーフィルタ等の設計・作製・評価を行っています。

研究テーマ例

光の干渉技術による露光法（干渉露光法）で得られるレジストパターンをシリコーンに構造を転写し、さらにそれを型としてゾル-ゲル法とナノインプリント法を併用して（図２）、狭周期構造を要するワイヤグリッド偏光子（図３）や、回折効率の高い回折格子等の作製を行うことができています。

干渉露光法で得られる微細なレジストパターンをマスクとして電気めっき法により、Cuを成膜し（図４）、Cuの微細周期構造(格子や孔)を形成することができています。格子幅、孔径ともに100～200nm程度の構造の形成に成功しており（図５）、特定の波長のみを透過または遮断するカラーフィルタとして機能することが確認できています。